일반적으로 사용되는 기계식 펌프에는 고정 플레이트 유형, 로터리 플레이트 유형 및 슬라이드 밸브 타입이 포함되며, 가장 일반적으로 사용되는 로터리 플레이트 진공 펌프 (로터리 플레이트 펌프라고 함)는 오일 밀봉 된 기계식 진공 펌프 . 로터리 베인 기계식 펌프가 독립적으로 또는 다른 높은 백 펌프에서 프리 펌프 펌프로 사용될 수 있습니다. 진공 밀봉 용기에서 건식 가스를 제거하는 데 사용될 수 있으며 가스 댐퍼가 설치된 경우 일정량의 응축 가능한 가스 .도 제거 할 수 있지만 높은 산소 함량, 입자상 먼지 및 금속에 부식성이있는 펌프 오일에 대한 화학 반응을 추출하는 데 적합하지 않습니다 ({4}}}}}}}}}}}}} 기술 .
로타리 베인 기계식 펌프는 주로 중간 크기의 펌프이며, 단일 단계 펌프와 2 단계 펌프 . 2 단계 펌프는 일련의 단일 단계 펌프를 직렬 .를 연결하는 구조입니다. . 단일 단계와 2 단계 펌프의 차이는 2 단계 펌프의 차이가 더 높은 진학 수준을 달성 할 수 있다는 것입니다.
2 단계 펌프에서, 낮은 진공 단계와 높은 진공 단계 사이에 불평등 한 챔버가있을 때, 보조 배기 밸브를 설치해야합니다 . 보조 배기 밸브를 설치하는 목적은 흡의 압력에 의해 압축 된 가스에 의해 압축 된 가스에 도달 할 때 보조 배기 밸브를 설치하는 목적은 흡의 압력에 도달 할 때 가스가 퇴원하고 남아있는 가스로 인해 가스가 발생합니다. 진공 단계 . 기계식 펌프의 흡입 압력이 감소 할 때, 보조 배기 밸브의 배기 부피도 감소하고 결국 전체 펌핑 공정 동안 펌프 온도를 초과하고 포화 vapor 압력에 도달 할 때 {4} {4} {4}는 용해성 가스와 혼합 된 가스와 혼합 될 때, 전체 펌핑 공정 동안 .에 도달합니다. 펌프와 펌프 오일의 순환 중, 높은 진공 말단으로 돌아올 때 펌프의 펌핑 성능에 영향을 미치고 펌프 오일 오염 .을 악화시킵니다.
가스 밸러스트 밸브를 설치하면 펌프의 압축 공정 중에 응축 가능한 가스의 응축 .가 효과적으로 가스 밸러스트 밸브는 가스 밸러스트 구멍 .를 통해 영구 건조 가스를 압축 가스에 혼합하여 펌프 온도에서의 포화 vapor 압력에 도달하기 전에 가스 밸러스트 구멍 .를 통해 영구적 인 건조 가스를 혼합합니다. 배기 밸브는 응축 가능한 가스와 건조 가스를 동시에 배출하기위한 배기 밸브 . 정상적인 상황에서 오일 밀봉 된 기계식 펌프에는 공압 밸브가 장착되어 있으며, 오일 밀봉 된 기계식 진공 펌프의 기술 매뉴얼에서 사용을 찾을 수 있습니다. .이 펌프의 단점은 오일을 쉽게 돌려주는 것이 었습니다. 제조업체는 또한 분자 체, 오일 미스트 수집기, 먼지 필터 및 오일 필터와 같은 액세서리를 제공합니다 .